Modulär kvävegenerator med ultrahög renhet för elektronikindustrin

Den modulära kvävegeneratorn med ultrahög renhet för elektronikindustrin, utvecklad av GSE tech Factory, avviker från den enda filtreringsstrukturen hos konventionell kväveproduktionsutrustning. Den använder en processlogik med två nivåer "först kväveproduktion, sedan djuprening och förfining", med fabrikens vanliga tryckluft som gaskälla. Genom kärnseparationsenheten slutförs den grundläggande kväveproduktionen, och sedan, via den exklusiva multi-level kompositreningsarkitekturen, avlägsnas specifikt spårsyre, kvarvarande fukt och ultrafina partiklar, som är mycket benägna att orsaka processdefekter i elektroniska komponenter. Detta säkerställer att produktionsproblem som oxidation under precisionsbearbetning, hål, beläggningsdefekter och dålig svetsning elimineras vid källan till gastillförseln.

Hela maskinen är designad i enlighet med standarderna för ett elektroniskt renrum, med en helt förseglad dammfri strukturdesign. Maskinkroppen har inga döda hörn av damm och är lätt att rengöra och underhålla. Det är kompatibelt med de rena kontrollspecifikationerna för dammfria halvledarverkstäder och verkstäder för precisionselektroniktillverkning och kommer inte att orsaka sekundär förorening till högprecisionsproduktionsmiljön.

Den stöder också exakt kontroll av renhetsgradienter. Enligt de differentierade gasanvändningsstandarderna för olika processer, såsom chipförpackning, waferbearbetning, fotoelektroplätering och precisionssvetsning av komponenter, kan den stabilt producera kvävgas med ultrahög renhet, vilket helt uppfyller processkraven för hela den avancerade elektroniska tillverkningsprocessen.

Utrustningen fungerar på ett automatiserat sätt i slutet kretslopp, med stabil gasproduktionsrenhet, kontrollerbara daggpunktsparametrar och extremt hög renhet hos gaskällan. Det löser helt och hållet industrins smärtpunkter för traditionell flaska med hög ren kvävgas och flytande kväveförsörjning, såsom fluktuerande renhet, höga förbrukningskostnader och avbrott i gastillförseln. Det kan tillhandahålla 24-timmars oavbrutet, standardiserat och nollföroreningsskydd för inert gas för avancerade elektroniska tillverkningsföretag, effektivt förbättra produktutbytet, minska skrothastigheten för exakta processer och långsiktiga gasanvändningskostnader. Det är den centrala stödutrustningen för standardiserad produktion inom den avancerade elektronik-, halvledar- och optoelektronikindustrin.

Multidimensionell innehållsexpansion

1. FoU och produktionsperspektiv: Som svar på de stränga kraven på gasrenhet och renhet inom elektronikindustrin har vårt företag specifikt utvecklat kvävegeneratorer med ultrahög renhet med dedikerade reningsmoduler för denna sektor.

2. Ur perspektivet av gaskälla och process: Utrustningen använder tryckluft som den primära gaskällan, producerar först kväve genom en PSA-modul och ansluter sedan till ett flerstegsreningssystem för grundligt avlägsnande av syre, vatten och spårföroreningar.

3. Tillämpningsperspektiv: Denna utrustning riktar sig till det avancerade elektroniska tillverkningssegmentet och används i stor utsträckning i processer som waferbearbetning, chipbondning, halvledarförpackning, precisionssvetsning av komponenter och optisk elektronisk beläggning.

Viktiga produktegenskaper

1. Flerstegs djuprening med kontrollerbara renhetsgradienter: Kvävegeneratorn med ultrahög renhet för elektronikindustrin har en dedikerad djupreningsmodul som använder en sammansatt reningsprocess, vilket möjliggör en stabil förbättring av kvävets renhet till 99,9999 %, med strikt kontroll över syrenivåer för spårpunktsparametrar och daggpunkt.

2. Dedikerad design för renrum: Hela enheten antar en dammfri strukturell design med sömlös tätning och lätt rengöringsbara ytor, vilket eliminerar alla döda zoner som samlas på damm, och uppfyller helt elektroniska standarder för renrumshantering.

Tekniska specifikationer